担当：工学部・基盤工学科・情報電子オプティクスコース・平田光男・鈴木雅康
ハードディスクドライブやレーザー加工機、液晶・半導体露光装置など、高速かつ高精度な位置決め制御が必要となる分野ではナノスケールオーダの位置決め精度が要求されています。本研究室では、これらを実現する新しい制御理論の開発と実機を用いた実証実験により、さらなる性能向上を目指しています（図1・2）。
工学部
高速高精度位置決め制御技術の開発と産業応用
